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科探仪器设备 实验室专用 PECVD系统真空化学气相沉积炉

2020/7/15 9:03:23发布139次查看
  • 加工定制:是
  • 品牌:科探仪器设备
  • 类型:KT-PECVD
  • 提供加工定制:是
  • 型号:KT
  • 别名:PECVD模块
  • 适用范围:为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),
  • 炉膛最高温度:详询
  • 工作温度:详询
  • 装载量:详询
  • 工作室尺寸:详询
  • 外形尺寸:详询
  • 规格:详询

郑州科探仪器设备有限公司 - 品牌介绍技术实力雄厚     品牌质量保证
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郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为最受老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术专利10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、cvd供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
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 郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为最受老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术专利10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、cvd供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
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pecvd系统就是为了使传统的化学气象沉积(cvd)反应温度降低,在普通cvd装置的前端加入rf射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(pecvd)。
该型号pecvd为科探新款,综合了国内大多数厂家的管式pecvd系统的优点,在pecvd前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。而且控制部分采用了成仪自主研发的实验电炉aio全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。
联系:
联系人:李工
qq:760625767
主要特点:
1. 气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
2. aio控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——科探aio控制系统;
3. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
4. 智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
5. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;
6. 炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
7. 整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。

郑州科探仪器设备有限公司
技术顾问
15286826848
河南省郑州市高新技术开发区长椿路11号国家大学科技园C1F2楼
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